阿特斯获得实用新型专利授权：“硅片承载装置”

专利摘要：本实用新型提供一种硅片承载装置，所述硅片承载装置包括基体，活动连接于所述基体上部的上齿槽、固定连接于所述基体底部的下压杆，所述上压杆上设有沿横向间隔排布的若干上齿槽；所述下压杆上设有沿横向间隔排布的若干下齿槽；所述上齿槽和与该上齿槽对应的下齿槽至少部分错位设置，减小硅片上端沿横向的活动空间，使得硅片的上端被限位在较小的空间内，防止硅片的上端由于容易沿横向移动造成的贴片现象，进而提升产品的质量。

今年以来阿特斯新获得专利授权149个，较去年同期减少了4.49%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.79亿元，同比增39.27%。

数据来源：企查查

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