京东方A获得发明专利授权:“金属掩膜版以及金属掩膜版的加工方法”

才艺展示 123109

专利摘要:本申请公开了一种金属掩膜版以及金属掩膜版的加工方法,所述金属掩膜版,包括:板体,所述板体上具有多个像素过孔,第一凹部和第二凹部,所述第一凹部形成在所述板体的一侧,所述第二凹部形成在所述板体相对的另一侧,所述第一凹部与所述第二凹部连通以限定出所述像素过孔,所述第一凹部的外轮廓线与所述像素过孔的一致,所述第二凹部的刻蚀深度大于所述第一凹部的刻蚀深度。由此,可以改善金属掩膜版的受力,降低应力集中,进而在确保像素过孔与需求外形轮廓一致的前提下,使第二凹部的深度更深,可以使板体的受力分布均匀性更好,在受到拉力时,金属掩膜版的变形量更小,降低拉伸褶皱。

今年以来京东方A新获得专利授权3145个,较去年同期增加了44.86%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了52.67亿元,同比减1.77%。

数据来源:企查查

京东方A获得发明专利授权:“金属掩膜版以及金属掩膜版的加工方法”

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