迈为股份获得实用新型专利授权:“一种镀膜机载具的接地装置”

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专利摘要:本实用新型涉及一种镀膜机载具的接地装置,属于镀膜设备技术领域,能够实现载具接地、加偏压、间歇性接地,且改变载具接地状态时无需停机以及开腔破真空;该装置在真空腔体的主动侧壁上和从动侧壁上分别设一排磁流体;主动侧壁的磁流体内端均设有主动传动轮,从动侧壁的磁流体内端间隔性设置有接地轮和从动传动轮;载具的两侧接触性设置在所述主动传动轮和所述从动传动轮的上方;所述主动传动轮与传动电机传动连接,在传动电机带动下转动;所述接地轮与接地电机传动连接,在接地电机带动下转动,实现与载具底面的接触和分离。

今年以来迈为股份新获得专利授权79个,较去年同期增加了31.67%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增39.56%。

数据来源:企查查

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